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线性导轨使精度平均化的效果

发布时间:2018/10/9 8:41:19   来源:安昂传动   作者:admin   浏览量:869

 

组装好工作台后,线性导轨吸收误差,提高工作台上的移动精度的效果称为精度平均化效果。这个效果依工作台或机床的刚性而改变,有报告显示精度可提高安装面误差值的1/4-1/7

基于钢珠的赫兹理论的分析结果为1/4.4,这是理论上将导轨、滑块、安装螺母等作为刚体看待得出的近似结果。考虑到这一点,实际应当比1/4.4小。将给定的校直误差量与工作台的实际变位置量的比称为精度平均化系数,而经实验,该系数为1/7.1。我们认为1/7.1的试验结果有相当的可靠性。

因此,线性导轨具有将安装导轨的基础加工及组装时产生的垂直度、平面度、平行度等校直误差平均化后进行吸收的特点。

巧妙地利用这一功能特性可以制造高精度的工作台,使用一般工业用的线性导轨也能获得0.6μm/110mm的上下精度(垂直度),可以应用于精度要求严格的半导体制造装置。

因为这个平均化效果之值随线性导轨的制造厂家而异,所以需要根据所选定的线性导轨进行相应的设计。


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